时间: 2025-01-30 20:16:13 | 作者: 产品展示
金融界2025年1月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江厚积科技有限公司请求一项名为“一种晶圆镜面抛光设备及办法”的专利，公开号CN 119347640 A，请求日期为2024年12月。
专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆镜面抛光设备及办法，旨在处理现存技能中选用多片式抛光机对晶圆进行抛光时，有可能会呈现晶圆厚度和总厚度误差较难操控的状况，从而影响了基板和晶圆质量的一致性，一起降低了出产功率的问题。本发明经过以下技能计划处理上述技能问题：包含：承载滑台，承载滑台上设置有沿其长度方向移动的承载台，承载台上设置有可以滚动的晶圆真空吸盘；承载台的上方沿其长度方向顺次设置有粗抛光主轴和精抛光主轴，粗抛光主轴和精抛光主轴均沿其本身轴向方向移动；设置在承载台上的晶圆测厚仪和抛光垫收拾器，抛光垫收拾器包含毛刷盘。
天眼查资料显现，浙江厚积科技有限公司，成立于2022年，坐落嘉兴市，是一家以从事专业方面技能服务业为主的企业。企业注册本钱10000万人民币，实缴本钱7600万人民币。经过天眼查大数据分析，浙江厚积科技有限公司参加招投标项目4次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息14条，此外企业还具有行政许可2个。
